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硅与其他资料在集成电路中的比较

硅与其他。半导体。资料在。集成电路。使用中的比较可从以下维度打开剖析:一、根底特性比照。资料。带隙(eV)。电子迁移率(cm²/(V·s))。热导率(W/(m·K))。击穿电场(MV/cm)。‌。硅( …

硅与其他 。资料中半导体。集成资料在。电路集成电路。比较使用中的资料中比较可从以下维度打开剖析:

一、根底特性比照。集成

资料。带隙(eV)。比较电子迁移率(cm²/(V·s)) 。资料中热导率(W/(m·K)) 。集成击穿电场(MV/cm) 。电路
‌ 。比较硅(Si)。资料中‌ 。集成1.12。电路1500。150 。0.3。
锗(Ge)。0.67。3900。60 。0.1。
砷化镓(GaAs)。1.42 。8500 。55 。0.4 。
碳化硅(SiC)。3.26。900 。490。3.0 。
氮化镓。(GaN)。3.4 。2000 。130。3.3 。

二 、中心优势范畴 。

‌ 。硅资料 。‌ 。

‌ 。干流逻辑芯片。‌:全球95%的集成电路选用硅基制作,因其本钱低(12英寸晶圆本钱仅为砷化镓的1/10) 、工艺老练(支撑3nm制程)14 。

‌ 。集成度优势 。‌ :硅晶圆直径可达300mm ,单晶缺点率低于0.1/cm² ,合适超大规模集成814。

‌ 。氧化层特性。‌ :天然生成的SiO₂绝缘层(介电常数3.9)是  。MOSFET 。器材的抱负介质28。

‌。化合物半导体 。‌。

‌ 。高频使用。‌ :砷化镓电子迁移率是硅的5.7倍,适用于 。5G。毫米波(>30GHz)器材49。

‌ 。功率器材 。‌ :碳化硅击穿电场强度达硅的10倍 ,可使电动汽车。逆变器。损耗下降70%112 。

‌。光电 。转化 。‌:磷化铟(InP)在光 。通讯  。波段(1310/1550nm)量子功率超90%4。

三 、要害功能短板。

‌。硅的局限性。‌ 。

禁带宽度窄导致高温漏电流大(>150℃功能骤降)911。

高频特性差(截止频率<100GHz) ,不合适太赫兹使用411。

‌ 。代替资料应战。‌。

‌。本钱问题。‌ :6英寸碳化硅晶圆价格是硅晶圆的20倍12。

‌ 。晶圆尺度。‌:氮化镓量产晶圆最大直径仅8英寸,约束产能提高12 。

‌。工艺兼容性。‌:砷化镓器材需特别生产线,与硅基产线不通用4 。

四 、技能演进趋势。

‌。混合集成。‌:硅基CMOS与氮化镓。射频 。器材3D堆叠(如苹果5G射频模组)12 。

‌。异质外延 。‌ :在硅衬底上成长GaN薄膜以下降本钱(已完成200mm工艺)12 。

‌。量子核算。‌ :硅-28同位素自旋量子比特相干时刻打破1秒11。

当时硅仍主导逻辑芯片商场,而第三代半导体在功率/射频范畴加快浸透 ,构成互补共存格式48 。

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